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纳米级的艺术 主流半导体制程解析
  • 2012-11-16 14:19:40
  • 类型:原创
  • 来源:电脑报
  • 报纸编辑:薛昱
  • 作者:八戒
【电脑报在线】在半导体领域,“制程”一直以来都是非常重要的名词,例如处理器制程技术的每一次更新都会引起大家关注。在过去40年的时间里,处理器制造技术已经从1971年Intel发布4004 CPU时的10μm进化到了今天的22nm。

ARM处理器,混乱的制程代工格局

  相对于X86 CPU领域,ARM处理器方面的制程就相对混乱一些。除了三星,其它品牌的ARM处理器生产都是采用代工模式,如高通、三星、NVIDIA三家公司分别选择了三种不同的工艺:Tegra3采用了台积电“40nm Fast G”,MSM8960采用了台积电“28nm LP”,Exynos 4 Quad则采用了三星自家的“32nm LP HKMG”。这些工艺的代号可能会让你眼花缭乱,但实际上它们才是理解工艺细节的关键。

    目前的半导体行业中存在两种类型的企业,一种是以Intel为代表的拥有自主制造能力的企业,另一种则是以NVIDIA、高通为代表的Fabless(设计代工型企业),它们芯片的制造往往交给诸如台积电、意法半导体等代工厂负责。由于Intel、三星工厂主要为自用,工艺参数往往只是用于产品辅助宣传。但对于台积电这样的代工者而言,从宣传、商业策略角度出发,台积电自130nm制程开始,每一代工艺的蚀刻尺寸都要比Intel小一点----分别是 80nm、65nm、40nm、28nm(分别对应Intel的90nm、65nm、45nm、32nm)。这样的确会营造一种更加先进的感觉,但实本质而言大家依然是同一代生产工艺。

  值得注意的是,在晶体管的制造工艺上落后的其他制造商为了跟上Intel的脚步,也积极投身于下一代晶体管结构的研发之中,其中全耗尽型SOI技术FD-SOI就是另一种同样有效的晶体管技术。与Intel的技术不同,该技术在基底和通道之间加入了一个绝缘的氧化层,即Buried Oxide(BOx)氧化埋层,它可以保证基底上只有特定的区域可以成为电子流动的通道,有效的阻止了漏电现象。该技术可以护送传统的平面型晶体管进入14nm时代。但由于这个绝缘的氧化层的材质与硅晶圆不一样,这意味着在生产时需要引入一个引入氧化埋层的非传统晶圆,使得晶圆生产成本过高。尽管如此,但是从今年中旬,意法爱立信(ST-Ericsson)仍将FD-SOI应用到28nm生产线上,明年将达到20nm。而为AMD、IBM等公司代工的格罗方德半导体明年也将FD-SOI技术应用到28nm生产线中。


碳纳米管,让硅元素成为历史

    为了配合不断改进的晶体管技术,业界也开始考虑后CMOS时代的技术措施,研究在硅元素失去优势时的材料替代方法。如IBM、Intel等正在加紧对另一种有前途的材料——碳纳米管(carbon nanotube)的开发研究。


  碳纳米管是一种非常小的管状六边形结构碳原子,纳米管直径只有1至2纳米,只是硅晶体管尺寸的1/500,比头发还细10万倍。碳纳米管因其超常的能量及半导体性能,而被认为是最有可能在未来取代硅,成为生产晶体管及微处理器的主要材料。此外,碳纳米管投入运行时产生的热量和功耗都比晶体管要小得多。目前正在积极进行此项研究的有IBM、Intel和HP公司。IBM的科学家已经找到一种能够准确地将它们放在电脑芯片上的方法。这种方法能比以前的方法排列的碳纳米管要密集100倍,是减少芯片制造成本最关键的一步,而且IBM已经制造出一块用1万个碳纳米管晶体管的芯片。HP公司也申请到一项关于碳纳米管技术的专利。不过,碳纳米管还处在研究试验阶段,在产品中使用碳纳米技术的时间可能需要10年或更长。 


写在最后

  在过去的40多年,半导体工业的发展突破了一个又一个看似不可能跨越的瓶颈,神奇地遵循着摩尔定律,如今的半导体科技已经达到了几乎不可能为之的地步。而这一切都得益于晶体管生产技术的不断进步,这项微观世界的“艺术”,在未来或许会重新打造我们的世界。

本文出自2012-11-19出版的《电脑报》第46期 E.硬件发烧友
(网站编辑:黄旭)


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